機臺名稱：真空等離子清洗機
機臺型號：OKSUN-PM120L/PM180L
整機規(guī)格：PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
                PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
電極規(guī)格：PM120L:  10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制
                PM180L:  10層平板式電極板（530(L)×400(W)mm）可定制
電源系統(tǒng)：5KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持

用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等等。
1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。